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激光退火設(shè)備

簡(jiǎn)要描述：v應(yīng)用范圍：對(duì)重?fù)诫s碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進(jìn)行退火

基礎(chǔ)信息

產(chǎn)品型號(hào)

廠商性質(zhì)

代理商

更新時(shí)間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

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詳細(xì)介紹

v 應(yīng)用范圍：對(duì)重?fù)诫s碳化硅（SiC）表面沉積的過渡金屬進(jìn)行退火，形成良好的歐姆接觸

v 加工尺寸：4inch、6inch

v 加工速度：1000mm/s

v 加工精度：±1μm

v 平臺(tái)參數(shù)：行程300mm×300mm

v 重復(fù)定位精度：±0.001mm

v 激光器參數(shù):紫外

v 稼動(dòng)率:98%以上

v 重大故障間隙時(shí)間:＞1000H

v 良率:≥99.5%


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