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Nikon S205C掃描式光刻機

簡要描述:NikonS205C1

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

219
詳細介紹

Nikon S205C

1.Nikon S205C掃描式光刻機

光源波長248nm

分辨率優(yōu)于0.15µm

主要用于8寸及12寸生產(chǎn)線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術(shù)指標

分辨率0.15µm

N.A.0.75

曝光光源248nm

倍率4:1

曝光現(xiàn)場25mm*33mm

對準精度

LSA:35nm

FIA:40nm

3.更多服務

提供中英文軟件及8"、12"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材



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