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Nikon NSR 1755/1505i7A/B步進式光刻機

簡要描述:NikonNSR1755/1505i7A/B1

基礎信息

產(chǎn)品型號

廠商性質(zhì)

代理商

更新時間

2024-10-22

瀏覽次數(shù)

289
詳細介紹

Nikon NSR 1755/1505i7A/B

1.Nikon NSR 1755/1505i7A/B步進式光刻機

光源波長365nm

分辨率優(yōu)于0.6µm

主要用于2寸、4寸、6寸生產(chǎn)線

廣泛應用于化合物半導體、MEMS、LED等領域

2.產(chǎn)品詳情

主要技術指標


分辨率0.6µm

N.A.0.6

曝光光源365nm

倍率5:1

曝光現(xiàn)場15mm*15mm

17.5mm*17.5mm

對準精度140nm

3.更多服務:

提供中英文軟件及2"、4"、6"設備硅片改造

常年提供所有備件、耗材


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